ASML 開始大量出貨第二代 High-NA EUV　單機 $350M　Intel 與 Samsung 2nm 製程的關鍵推手

Financial Content 2 月 5 日以「The Angstrom Revolution: ASML Begins High-Volume Shipments of $350M High-NA EUV Machines to Intel and Samsung」為題報導，指出 ASML 於 2026 年 2 月正式開始大量出貨第二代 High-NA EUV 微影設備，單機售價約 3.5 億美元（約新台幣 112 億元），主要客戶為 Intel 與 Samsung。High-NA EUV 將是 2nm 與更先進製程不可或缺的關鍵設備，並將於 2026 H2 開始進入 HVM（High-Volume Manufacturing）階段。

TrendForce 10 月 16 日以「Samsung Reportedly Purchasing Two ASML High-NA EUV Tools for Mass Production by 1H26」為題報導，指出 Samsung 預計向 ASML 採購 2 台 High-NA EUV 設備，將於 2026 H1 安裝於其平澤（Pyeongtaek）廠區，分別用於 2nm foundry 試產與 DRAM 量產。TrendForce 並指出，Intel 已將 High-NA EUV 訂單從 1 台擴增至 2 台，安裝於其美國奧勒岡州 Hillsboro 研發廠，用於 18A 與 14A 製程開發。

KED Global 10 月 15 日以「Samsung to buy ASML's most advanced lithography tools to rival TSMC」為題報導，指出 Samsung 採購 High-NA EUV 設備主要目的是與台積電在 2nm 製程上競爭。KED Global 引述業界消息指出，Samsung 將 High-NA EUV 部署於華城（Hwasung）廠區的 2nm 試產線，預計 2026 H2 進入 2nm GAA（MBCFET）製程量產，並於 2027 年開始對外接單。

LinkedIn 同步指出，SK hynix 的 High-NA EUV 設備將於 2026 年下半年開始引進，主要用於 1c nm DRAM 製程；台積電則於 2026 H1 開始安裝 ASML 第二代 High-NA EUV，並規劃於 2nm 製程（將於 2026 H2 進入量產）正式採用 High-NA 進行量產關鍵層。

ASML High-NA EUV 量產出貨代表半導體製程進入「埃米（Angstrom）時代」，法人圈普遍認為這將是 2nm、A14（1.4nm）、A10（1nm）等更先進製程的核心瓶頸突破點。ASML 2025 年 Q4 法說指出，2026 年 High-NA EUV 出貨量上看 12 台，2027 年將進一步提升至 20 台以上；每台 High-NA 設備需搭配 10 台以上的 Low-NA EUV，整體 EUV 設備營收將佔 ASML 2027 年總營收的 55% 以上。法人圈建議，於 2026 H2 持續追蹤 (1) Intel 18A 量產良率（High-NA 導入關鍵指標）；(2) Samsung 2nm GAA 客戶認證進度；(3) 台積電 2nm 量產時程與客戶分布；(4) 中國半導體廠商（中芯國際、華虹）對 Low-NA EUV 採購策略，作為半導體設備與代工族群投資決策核心。

產業觀察與供應鏈脈動

本議題的市場變化並非單一公司的獨立事件，而是整條供應鏈在 AI、HPC、電動車、低軌衛星等高成長終端帶動下，進入結構性擴張期的具體反映。從上游晶圓代工、封測，到中游 PCB、被動元件、散熱模組，再到下游系統組裝、品牌出貨，2026 年下半年每個環節的產能利用率、毛利率與資本支出都出現同步上修訊號。業者普遍認為，這一波調整幅度與過去消費性電子景氣循環截然不同，主要差異在於 AI 加速器、HBM、CoWoS、先進封裝等高階製程進入「剛性需求」階段，無法以傳統產線彈性快速擴充，導致缺料與漲價效應被進一步放大，並對台灣供應鏈的議價能力與長期毛利率結構帶來正向挹注。

市場數據與法人觀點

從市場面觀察，本議題相關族群近三個月股價波動明顯放大，外資買賣超同步轉趨積極，投信與自營商也出現罕見的連續性買盤，顯示法人對產業前景的共識度正在提升。多家券商在最新研究報告中將相關標的目標價上修，主因為（1）AI 與 HPC 應用面擴張速度優於預期；（2）HBM、CoWoS、ABF 載板等高階製程供給瓶頸延續至 2027 年；（3）台廠在先進製程與先進封裝的市佔率持續擴張，議價能力顯著提升。法人提醒，雖然中長期趨勢仍偏多，但短線漲幅已大，建議留意大盤震盪與個股本益比偏離基本面的風險。