【2026-09-16】創浦 TRUMPF 助力玻璃基板技術邁向新一代 AI 晶片量產 獨特濺鍍提升 TGV 良率成封裝決勝點
DIGITIMES 9 月 15 日報導,德國雷射與設備大廠創浦(TRUMPF)展示用於玻璃基板(Glass Substrate)微米級通孔(TGV)濺鍍技術,可顯著提升 AI 晶片 TGV 良率與通孔品質,助攻玻璃基板邁向新一代 AI 晶片量產。台積電 CoPoS、Intel 玻璃基板量產時程、群創、友達等台廠供應鏈同步受矚。
DIGITIMES 9 月 15 日報導「創浦助力玻璃基板技術邁向新一代 AI 晶片量產」指出,德國雷射與光電設備大廠創浦(TRUMPF)於 SEMICON Taiwan 2026 期間展示針對 AI 晶片堆疊的「整合式晶片內部冷卻技術」與玻璃基板微米級通孔(Through Glass Via, TGV)濺鍍技術。TRUMPF 指出,隨著 AI 晶片運算力不斷提升,產業競爭焦點已從晶片本身延伸至先進封裝技術。玻璃基板(Glass Substrate)憑藉低成本、大尺寸、高密度互連與低訊號損耗等優勢,被視為下一代 AI 晶片封裝的關鍵材料。TRUMPF 的 TGV 濺鍍技術可顯著提升玻璃通孔的孔壁金屬化品質與良率,是玻璃基板從研發邁向量產的關鍵環節。
Yahoo 新聞 9 月 1 日報導「創浦:玻璃基板技術邁向新一代 AI 晶片量產」指出,TRUMPF 表示玻璃基板不僅能提升功能整合密度,也有助於在晶片內部實現更快速且更有效率的資料傳輸。TRUMPF 的 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔面射型雷射)與 EUV(極紫外光)雷射技術可用於玻璃基板的精密鑽孔、金屬化、檢測等製程。相較於傳統機械鑽孔,TRUMPF 的雷射鑽孔可達到 sub-micron 級精度,且不會產生機械應力(Mechanical Stress)導致玻璃破裂。TRUMPF 與台積電(TSMC)、Intel、Samsung 等晶圓代工廠均已展開合作測試。
CTimes(科技新報)9 月 2 日報導「突破 AI 晶片散熱與封裝瓶頸 創浦攻晶片內建冷卻與玻璃基板」進一步說明,TRUMPF 本次在 SEMICON Taiwan 2026 展示兩大核心技術:(1) 整合式晶片內部冷卻技術(Integrated Chip-level Cooling),透過微流道(Microchannel)設計在晶片內部導入冷卻液,較傳統散熱方案提升 5-10 倍散熱效率;(2) TGV 濺鍍技術,採用物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition, PVD)與化學氣相沉積(CVD)混合製程,可在玻璃基板的微米級通孔內形成均勻且緻密的金屬層,提升導電性與可靠度。這兩項技術的結合,可望解決 AI 晶片「熱牆」(Thermal Wall)與「I/O 瓶頸」兩大難題。
DIGITIMES SEMICON 2026 9 月 2 日報導(DOF Metrology 架構,瞄準先進封裝精密製程)指出,TRUMPF 也展示其 DOF(Depth of Focus,景深)量測架構,專為先進封裝精密製程設計,可整合到玻璃基板的檢測流程中。TRUMPF 強調,嵌入 TPV(Through Package Via,貫穿封裝通孔)連接器與銅塊的玻璃基板,提供了解決現行 TGV 製程問題的可行方案;將矽橋(Silicon Bridge)、DTC(Deep Trench Capacitor,深溝槽電容)及 VCR(Voltage Controlled Resistor)晶片嵌入玻璃基板上方的金屬連線架構中,可進一步簡化製程並提升良率。這些創新設計代表玻璃基板技術正從「單一材料」演進為「異質整合平台」。
36Kr(36 氪)8 月 23 日報導「量產時間集體更改,玻璃基板迎來第一次大考?」指出,玻璃基板的故事正從「誰先宣布」轉向「誰能按時交付」。進入 2026 年下半年,幾條時間相近、方向卻不同的消息把這種變化放到了檯面上:(1) Intel 於 7 月底宣布將玻璃基板量產時間從 2027 年延後至 2028 年;(2) 台積電 CoPoS(Chip on Panel on Substrate)平台計畫於 2027 年試產、2028 年進入量產;(3) Samsung、SK Hynix 也陸續宣布玻璃基板相關投資計畫;(4) 中國華為(Huawei)預計 2027 年量產玻璃基板,由國內供應鏈支援。整體而言,玻璃基板量產時間呈現「集體延後」趨勢,反映 TGV 製程良率、金屬化品質、檢測精度等技術瓶頸仍未完全克服。
pocket.tw 12 月 24 日報導「2026 年 AI 晶片新戰場:TGV 玻璃基板技術商用化爆發」指出,隨著摩爾定律放緩,晶片需要堆疊得更高、更密。TGV 技術允許在「玻璃」上打出微小的通道來傳輸訊號,比傳統的矽基板或有機基板傳輸速度更快、耗電更低、訊號損耗更小。台積電的 CoPoS 平台把 FOPLP(Fan-Out Panel-Level Packaging)與玻璃基板結合,CoP(Chip-on-Panel)解決生產效率與切割經濟性,oS(on Substrate)則採用玻璃基板材料取代部分有機載板。台灣供應鏈中,群創、友達積極布局 TGV 技術,南韓 Intekplus 拓展玻璃基板檢測設備,友達已於 2026 年中展出 600×600mm 大尺寸玻璃基板原型。
LinkedIn 分析師 Packnode 8 月 24 日報導指出,DIGITIMES 分析師 Jason Yang 認為「真正的玻璃中介層(Glass Interposer)CoPoS 商業化可能要到 2030 年才會實現」,這比多數供應鏈廠商預期的 2027-2028 年更為保守。Yang 指出,雖然玻璃基板在材料特性上優於有機載板,但在「製程整合」(Process Integration)、「供應鏈整合」(Supply Chain Integration)、「客戶端驗證」(Customer Qualification)等環節仍需 3-5 年時間。Yang 也提醒,TRUMPF 等設備廠雖然展示了突破性技術,但從研發到量產的「死亡之谷」(Valley of Death)仍需克服,包含:(1) TGV 製程良率目標需達 99.9% 以上;(2) 玻璃基板成本需接近有機載板的 2 倍以內;(3) 客戶端 IC 設計需配合玻璃基板的設計規則(Design Rule)。
綜合來看,TRUMPF(創浦)的 TGV 濺鍍技術為玻璃基板量產注入關鍵動能,可望提升 AI 晶片封裝的良率與效能。Intel、台積電、Samsung、華為等晶圓代工廠與 IDM 均積極布局玻璃基板,但量產時間普遍從 2027 年延後至 2028 年甚至更晚。後續觀察重點包含:(1) TRUMPF 與台積電、Intel、Samsung 的合作進度;(2) 群創、友達等台廠在 TGV 技術的突破;(3) 玻璃基板相較有機載板的成本競爭力;(4) CoPoS 平台的客戶端驗證進度;(5) 中國華為玻璃基板 2027 年量產的實際可行性。